产品名称:
广东氮化硅厂家
咨询热线:13383727034
广东氮化硅的生产方法分析:
电子级的广东氮化硅薄膜是通过化学气相沉积或者等离子体增强化学气相沉积技术制造的:
3 SiH4(g) + 4 NH3(g) → Si3N4(s) + 12 H2(g)
3 SiCl4(g) + 4 NH3(g) → Si3N4(s) + 12 HCl(g)
3 SiCl2H2(g) + 4 NH3(g) → Si3N4(s) + 6 HCl(g) + 6 H2(g)
如果要在半导体基材上沉积氮化硅,有两种方法可供使用:
利用低压化学气相沉积技术在相对较高的温度下利用垂直或水平管式炉进行。
等离子体增强化学气相沉积技术在温度相对较低的真空条件下进行。
来源:http://guangdong.hxdhcl.com/product747445.html
发布时间:2021/7/5 9:02:51
相关新闻RELATED NEWS
- 广东氮化硅厂家教你正确使用氮化硅2024-04-03
- 广东氮化硅厂家总结氮化硅生产要点2024-02-21
- 广东氮化硅厂家分析氮化硅的使用方法2023-12-06
- 如何判断广东氮化硅厂家的实力2023-11-22
相关产品RELATED PRODUCT